TALD系列原子层沉积系统是专门为先进半导体工艺开发的薄膜沉积系统,已在国内高校和科研院所装机超百台。以优良的品质,极高的可靠性,超长的使用寿命受到客户的认可,产品性能和售后服务得到用户一致好评。
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关键词: 双腔热型原子层沉积系统

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