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我司助力复旦大学成功研发世界首个半浮栅晶体管（SFGT）！

复旦大学成功研发世界首个半浮栅晶体管（SFGT），结果发表在《Science》，并有央视1套节目报道。我们提供了关键的栅隔离介质薄膜制备设备和工艺方案。

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我司助力中科院上海技物所、武汉大学完成突破性进展！

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